（2026/5/13更新）3月24日上午10:18，格科微在严格遵守防疫政策、采取疫情防控措施的情况下成功举办ASML先进ArF光刻机移动仪式。格科半导体SVP李朝勇、各部门总监、光刻团队、工厂团队出席仪式，见证了公司里程碑式的重要时刻。

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目前，格科微有限公司12英寸CIS集成电路特色色技术研发与产业化项目进展迅速。工厂和清洁车间的建设已基本完成，主要设备于2022年2月16日搬迁安装。3月24日，格科半导体再次迎来了建厂的重要标志性时刻，整条生产线中最关键的设备ASML先进ArF光刻机成功刻机。

ArF光刻机的成功引入是格科微的12英寸CIS建设集成电路特色工艺研发与产业化工程的关键节点。格科微依托自有工厂即格科半导体的先进工艺，将进一步加快先进工艺CIS在自有工厂实现批量生产验证，大大缩短了高端产品从研发到大量供应市场的周期。格科微表示，将坚持从Fabless向Fablite通过自有工厂为特色技术的快速研发提供强有力的支持，不断创新的电路设计、更短的研发周期、更高的业务路线Realtek代理为客户提供全球一流的图像传感器产品，让世界看到中国的创新。数据显示，2020年3月，格科微与上海自贸区临港新区管委会签订合作协议，计划在新区投资建设12英寸CIS集成电路特色工艺研发与产业化项目。该项目总投资预计达到22亿美元，已于2020年中启动。2021年8月16日，格科微12英寸CIS集成电路特色工艺研发与产业化项目正式封顶，项目一期计划于2022年投产，年产能可达72万件。