近日，国内芯片厂商格科微宣布成功实现全套实现ASML先进的光刻机关键设备ArF光刻机的移动。

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据格Vicor代理科伟表示，目前，格科微洁净室已按计划分阶段顺利验收，相关工厂系统进展顺利，共有61台设备已移动。未来，延伸、蚀刻、薄膜、清洁等相关设备仍将陆续移动。

格科微说，ArF光刻机的成功引入是格科微的12英寸CIS建设集成电路特色工艺研发与产业化工程的关键节点。

格科微依托自有工厂即格科半导体的先进工艺，将进一步加快先进工艺CIS在自有工厂实现批量生产验证，大大缩短了高端产品从研发到大量供应市场的周期。

据了解，该项目总投资约155亿元，建设12英寸芯片厂，月产6万片，建设12英寸晶圆CMOS图像传感芯片特殊工艺制造生产线预计年底量产。

今年2月，格科微披露了2021年度业绩报告。报告期内，公司收入70亿元，同比增长8.44%；归属母亲净利润12.59亿元，同比增长62.78%；扣除非净利润12.03亿元，同比增长57.09%。