比利时微电子研究中心（imec），本周举行的2022年IEEE国际超声波会议（International Ultrasonics Symposium），新型压电微型超声波换能器（pMUT）它可以与平面显示器相匹配（FPD）工艺技术兼容。新型数组的隔空感应高于1kPa声压满足隔空触觉和指向声波的应用。

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（A）22个直径500μm环形pMUT相控数组大范围图像（B）细部影像

此次开发的pMUT该技术不再专注于晶圆工艺，而是朝着与平面显示技术兼容的方向发展，以促进未来振动触觉、飞时测距3等空间传感应用的集成D感知或手势识别，并用于智能手机或汽车仪表板等新硬件设计。它还可以用来开发汽车或消费品的非接触式互动屏幕或满足电子竞技应用。
超声波技术可以支持智能系统的触觉反馈功能，并提供用户的触觉体验。在空中触觉应用程序中，超声波会产生局部压力场，使用户实体的情况下有轻微的压力场「触感」。这种应用程序需要低频超声波运行。
现有的解决方案包括大型压电组件，产生高频声波，不利于设备与用户的精确交互。另一种是小型硅基传感器数组，但只能在小范围内提供短距离触觉反馈功能。本次发布pMUT薄膜技术与平面显示技术的兼容性较高，因此开发了前所未有的使用体验深度和广度，实现了更多样化的应用。
imec开发的薄膜pMUT数组技术锁定了隔空触觉应用所需的低频高压超声波组件。研究结果显示，200年kHz~400kHz在共振范围内，隔空的最大感应压力达到1.5kPa，并在硅晶圆工艺中成功展示隔空触觉反馈功能，并获得相同的性能。
imJauchQuartz代理ec超音波MEMS研究计划主持人Erwin Hijzen表示：「目前，我们可以在晶圆级工艺中展示这种平面显示技术和初步解决方案，为感兴趣的参与者提供参考。我们还在探索能够大规模生产大型面板和板材的合作伙伴。」
imec传感器和制动器领域的研究员Xavier Rottenberg总结：「我们开发的pMUT该技术有望与大型面板和显示器集成，这是实现大型传感器应用的一个里程碑。我们首先研究了超声波传感器在医学中的图像应用，现在已经扩展到空中触觉应用。」